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J-GLOBAL ID：201002253814313466   整理番号：10A0422156

シリカマイクロトロイド共振空洞の究極品質係数

Ultimate quality factor of silica microtoroid resonant cavities

著者 (3件)： ZHANG Xiaomin (Mork Family Dep. of Chemical Engineering and Materials Sci., Univ. of Southern California, Los Angeles, California ...) ,  CHOI Hong Seok (Mork Family Dep. of Chemical Engineering and Materials Sci., Univ. of Southern California, Los Angeles, California ...) ,  ARMANI Andrea M. (Mork Family Dep. of Chemical Engineering and Materials Sci., Univ. of Southern California, Los Angeles, California ...)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 96  号： 15  ページ： 153304  発行年： 2010年04月12日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 品質Q因子1×10⁸以上のシリカ光学微小空洞は科学とエンジニアリングにわたって応用を持っている。マイクロトロイドとマイクロスフェアの両共振空洞はQ>1×10⁸を示すが,マイクロスフェアのみが1×10⁹を上回っていた。驚いたことに,この性能差の理由は製作プロセスにおいて用いたシリコン基板のタイプと直接関連している。本研究では,平面トロイダルシリカ共振空洞の理論Qを計算して,ドーピングシリコンウェハ上の酸化物から製作した一連の素子の実験結果と比較した。予測されるように,Qは基板ドーパント濃度に依存した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： 環状体 ,  *空洞共振器 ,  品質特性 ,  Q値 ,  ミクロスフェア ,  ウエハ【IC】 ,  平面 ,  ドーピング ,  酸化物 ,  ドーパント ,  濃度依存性 ,  *二酸化ケイ素
準シソーラス用語： *シリカ ,  シリコンウエハ ,  シリコン基板 ,  トロイド ,  品質係数

分類 (2件)： レーザ一般  (BD04030T) ,  塩基,金属酸化物  (CD01030Z)

タイトルに関連する用語 (3件)： 共振 ,  空洞 ,  品質係数