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J-GLOBAL ID：201002254197655296   整理番号：10A1268205

PECVDによる低地球温暖化係数ガスを用いたa-C:F膜の調製および特性評価

Preparation and characterization of a-C : F film using low-global warming potential gas by PECVD

著者 (5件)： WATANABE H ,  TOKIMITSU T ,  SHIGA J ,  HANEJI N ,  SHIMOGAKI Y
資料名： ADVANCED METALLIZATION CONFERENCE 2004 (AMC 2004)
ページ： 443-450  発行年： 2004年 
JST資料番号： I20040175  ISBN： 1-55899-814-4  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： その他 (ZZZ)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (4件)： PECVD ,  地球温暖化係数 ,  調製 ,  特性評価