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J-GLOBAL ID：201002254239792841   整理番号：10A0144247

サファイア単結晶上に成長させたCVD TiC/アルミナおよびTiN/アルミナ多層コーティング

CVD TiC/alumina and TiN/alumina multilayer coatings grown on sapphire single crystals

著者 (4件)： CANOVIC S. (Dept. of Applied Physics, Chalmers Univ. of Technol., SE-412 96 Goeteborg, SWE) ,  LJUNGBERG B. (AB Sandvik Tooling, SE-126 80 Stockholm, SWE) ,  BJOERMANDER C. (AB Sandvik Tooling, SE-126 80 Stockholm, SWE) ,  HALVARSSON M. (Dept. of Applied Physics, Chalmers Univ. of Technol., SE-412 96 Goeteborg, SWE)
資料名： International Journal of Refractory Metals & Hard Materials  (International Journal of Refractory Metals & Hard Materials)
巻： 28  号： 2  ページ： 163-173  発行年： 2010年03月 
JST資料番号： H0059B  ISSN： 0263-4368  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 化学蒸着(CVD)によってα-Al₂O₃単結晶のc-およびr-表面上に,薄いTiCあるいはTiN(~20nm厚さ)の層で分離された3つの(1mm厚さ)アルミナ層からなるTiC/α-およびTiN/κ-Al₂O₃の多層を蒸着させた。本論文の狙いは,走査電顕(TEM)を用いて種々の多層コーティングの詳細な微視組織を述べ比較することである。α-Al₂O₃単結晶基材の異なる表面に蒸着させると,アルミナ層の一般的な微視組織は非常に異なってくる。c-表面ではアルミナ層は一様に成長し,コーティング全体にTiCあるいはTiNおよびアルミナの単結晶を成長させることになる。しかし,r-表面上に蒸着させると,アルミナ層は通常不規則に成長する。c-とr-の両方の表面上に蒸着させると,TiN/κ-Al₂O₃多層コーティング中にκ→α変態がおきる。各層中では変態が上部の界面細孔で始まり内部に進行する。変態が外側の層へ進行する前に,内部の層は最初に変態を開始する。変態したα-Al₂O₃層の微視組織は蒸着したままのα-Al₂O₃に比べ異なっている。例えば,ボイドや転位が変態したα-Al₂O₃層内にいくらか存在する。蒸着したままのアルミナ層内には細孔は観察されないが,TiCおよびTiN層の下の界面に少数の細孔を観察した。しかし,変態したα-Al₂O₃層内に連鎖した細孔を観察した。最奥のTiCおよびTiN層の下の基材中に細孔も存在する。これらはTiCとTiN層の蒸着中の化学エッチングによって形成されると思われる。単結晶TiC/アルミナ層は最密充填面上に成長する最密充填でc-表面基材上にエピタキシアルに成長する。r-表面ではエピタキシアルはα_r-sub-TiC/Al₂O₃中の幾つかのまれな位置にのみ存在する。しかし,α_r-sub-TiN/Al₂O₃中にはエピタキシアルは観察されなかった。Copyright 2010 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *炭化チタン ,  *チタン化合物 ,  *窒化物 ,  *アルミナ ,  *多層膜 ,  *蒸着膜 ,  化学蒸着 ,  サファイア ,  αアルミナ ,  相変態 ,  相組成 ,  エピタクシー
準シソーラス用語： κアルミナ ,  *窒化チタン

分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (8件)： サファイア ,  単結晶 ,  成長 ,  CVD ,  TiC ,  アルミナ ,  TiN ,  多層コーティング