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J-GLOBAL ID：201002254333134785   整理番号：10A0346956

鋸歯状格子により作られる回折パターンに及ぼす作製誤差の影響

Effect of fabrication errors on the diffraction pattern produced by sawtooth gratings

著者 (3件)： TORCAL-MILLA Francisco Jose ,  HARDER Irina ,  LINDLEIN Norbert
資料名： Applied Optics  (Applied Optics)
巻： 49  号： 9  ページ： 1599  発行年： 2010年03月20日 
JST資料番号： B0026B  ISSN： 1559-128X  CODEN： APOPAI  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本文では,鋸歯状格子における典型的な作製誤差により作られる回折場に及ぼす影響を解析的にかつ数値的に調査する。回折次数の強度と効率に及ぼす影響を示す近視野と遠視野において解析を行なう。格子の形状が完全でなく,曲がった形状あるいは過現像の誤差を示す場合,いくつかの異なる回折次数が現れ,各次数の強度と効率を変化させる。さらに,粗さがある場合,一次と異なる回折次数が発生しなくても,効率の低下が起きる。格子の形状に関する修正の解析的依存性が,数値的方法を用いた結果の確証となることがわかる。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *回折格子 ,  誤差 ,  シミュレーション ,  数値解析
準シソーラス用語： 回折パターン ,  数値シミュレーション

分類 (1件)： 光デバイス一般  (BD06010L)

タイトルに関連する用語 (5件)： 鋸歯状 ,  格子 ,  回折パターン ,  作製 ,  誤差