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J-GLOBAL ID:201002254601424422   整理番号:10A1320760

シグマ-デルタ制御を用いたMEMS加速度計の遺伝的自動合成と最適化

Genetic-based automated synthesis and optimization of MEMS accelerometers with Sigma-Delta control
著者 (2件):
資料名:
巻: 2010 Vol.2  ページ: 901-904  発行年: 2010年 
JST資料番号: A0757A  ISSN: 0271-4302  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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ユーザ設定性能仕様と設計拘束のため,電子制御回路に組み込んだ微小電子機械システム(MEMS)の自動最適レイアウト合成のための効果的なシミュレーションに基づく,新規合成フローを提案した。この方法は,電子ブロックの自動構成選択と機械的レイアウトの合成を最適設計パラメータの計算と組み合せた,シミュレーションによる最適化に基づく。この最適化プロセスの複合性により,利用可能ツールの制約を克服するため,そのアルゴリズムをC++で実行した。また,適正ツールが利用可能である場合,このアルゴリズムをHDLにより実行した。これらのツールが複合モデリング用に極めて良く適合した場合,シミュレーション結果と最適化アルゴリズムの後処理の実行が困難になる。混合技術制御ループ中組み込んだセンシング素子の正確な性能予測を可能にするため,分布型機械的動力学を含む,MEMSモデルを開発した。事例研究として,シグマ-デルタ(ΣΔ)制御ループを用いた容量型MEMS加速度計を用いることにより,提案した方法を検証した。
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分類 (2件):
分類
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半導体集積回路  ,  時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器 
タイトルに関連する用語 (5件):
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