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J-GLOBAL ID：201002254826045170   整理番号：10A0328811

大型矩形ガラス材の高平坦化研磨(第1報)-試料回転角速度制御による研磨距離の均一化-

著者 (3件)： 吉冨健一郎 (防衛大) ,  宇根篤暢 (防衛大) ,  餅田正秋 (防衛大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2010  号： 春季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.A64  発行年： 2010年03月01日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *基板 ,  *電気装置部品 ,  長方形板 ,  大型 ,  *研磨 ,  角速度 ,  制御 ,  *距離
準シソーラス用語： *ガラス基板 ,  平坦化 ,  角速度制御 ,  *研磨距離 ,  均一化

分類 (2件)： 研削  (QC03000R) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (8件)： 大型 ,  矩形 ,  ガラス材 ,  平坦化 ,  研磨 ,  試料 ,  回転角速度 ,  均一化