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J-GLOBAL ID：201002255902890760   整理番号：10A0450900

熱硬化性ポリマーの多段フォトレジストモールディング法による同一平面電極を持つ単チャンバーSOFCのマイクロ加工

Microfabrication of single chamber SOFC with co-planar electrodes via multi-step photoresist molding with thermosetting polymer

著者 (6件)： KIM Hyoungchul (Center for Energy Materials Res., Korea Inst. of Sci. and Technol., Seoul 136-791, KOR) ,  CHOI Sun-hee (Center for Energy Materials Res., Korea Inst. of Sci. and Technol., Seoul 136-791, KOR) ,  KIM Joosun (Center for Energy Materials Res., Korea Inst. of Sci. and Technol., Seoul 136-791, KOR) ,  LEE Hae-weon (Center for Energy Materials Res., Korea Inst. of Sci. and Technol., Seoul 136-791, KOR) ,  SONG Huesup (Div. of Advanced Materials Engineering, Kongju National Univ., Chungnam 330-717, KOR) ,  LEE Jong-ho (Center for Energy Materials Res., Korea Inst. of Sci. and Technol., Seoul 136-791, KOR)
資料名： Journal of Materials Processing Technology  (Journal of Materials Processing Technology)
巻： 210  号： 9  ページ： 1243-1248  発行年： 2010年06月19日 
JST資料番号： H0650A  ISSN： 0924-0136  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本報告で著者等は,熱硬化性ポリマーのフォトレジストモールディング法(PRM-TP)と名付けた簡単で新しいマイクロ加工法を紹介した。この方法は,サブミクロンから数ミリメーター尺度の寸法の多重セラミック構造体の製作が可能である。PRM-TPはリソグラフィックツールと用途を限定したセラミックスラリープロセスを組み合わせた新しいハイブリッドプロセスで,良く制御された微細構造を持つミクロスケールセラミック加工に利用できる利点がある。PRM-TPの一般的有用性を実証するために,著者等はこのプロセスを同一平面電極を持つ単チャンバー固体酸化物燃料電池(SC-SOFC)の製造に用いた。メタンおよび空気の予混合ガスを用いる単チャンバー操業条件下の500°Cにおける電池試験を行ったところ,SC-SOFCの開回路電圧および出力が各々205mVおよび67mW/cm²に達した。Copyright 2010 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *熱硬化性プラスチック ,  フォトレジスト ,  *微細加工 ,  *固体酸化物燃料電池 ,  *プラスチック成形 ,  セラミック成形 ,  電極 ,  スラリー ,  フォトリソグラフィー
準シソーラス用語： 電極アレイ

分類 (2件)： その他の成形  (YH04090Q) ,  燃料電池  (YB04040V)

タイトルに関連する用語 (8件)： 熱硬化性ポリマー ,  多段 ,  フォトレジスト ,  モールディング ,  平面電極 ,  チャンバー ,  SOFC ,  マイクロ加工