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J-GLOBAL ID：201002255912339220   整理番号：10A1150569

フラットパネル製造工程におけるデュアルチャネルシステムに基づく高速非接触検査手法

A Fast Non-Contact Inspection Method through Dual Channel System for Flat Panel Manufacturing Processes

著者 (4件)： 羽森寛 (広島大 大学院工学研究科) ,  坂和正敏 (広島大 大学院工学研究院) ,  片桐英樹 (広島大 大学院工学研究院) ,  松井猛 (広島大 大学院工学研究院)
資料名： エレクトロニクス実装学会誌  (Journal of Japan Institute of Electronics Packaging)
巻： 13  号： 7  ページ： 562-568  発行年： 2010年11月01日 
JST資料番号： S0579C  ISSN： 1343-9677  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 近年急速に拡大するフラットパネル製造工程において,歩留まり改善のための検査および欠陥リペァ工程の研究は重要なものとなってきている。本研究では,a-Si TFT配線内においてリペア対象となる電気的欠陥の高速かつ正確な検出のために,非接触方式を採用した新たな検査手法を提案する。提案手法により,従来用いられてきたピンプローブ式検査手法と比較して大幅な高速化が可能となるとともに,配線内の欠陥の有無だけでなく欠陥位置まで特定することができるようになり,リペアシステムとその情報を共有することでより効率的な工程管理が可能となる。さらに,本方式を用いることにより,品種ごとによるピンブロービング治具の交換が不要となるため,ピンプローブ式の検査手法の最大の課題とされていたランニングコストの低減が可能となる。(著者抄録)

シソーラス用語： *フラットパネルディスプレイ ,  *非接触測定 ,  歩留り ,  *アモルファスシリコン ,  *薄膜トランジスタ ,  配線 ,  短絡【電気】 ,  欠陥検査 ,  雑音発生防止 ,  *故障点標定 ,  測定データ

分類 (1件)： 表示機器  (NC06030Q)

引用文献 (5件)：

• 岩井善弘. フラットパネルディスプレイ最新動向. 2005
• オー・エイチ・ティー. 回路パターン検査装置及び回路パターン検査方法. 日本国特許 第4008949号. 2007
• オー・エイチ・ティー. 回路パターン検査装置及び回路パターン検査方法. 日本国特許 第3978178号. 2007
• オー・エイチ・ティー. 検査装置及び検査方法並びに検査装置用センサ. 日本国特許 第3989488号. 2007
• オー・エイチ・ティー. 回路パターン検査装置およびその方法. 日本国特許 第4417858号. 2009

タイトルに関連する用語 (6件)： フラットパネル ,  製造工程 ,  デュアルチャネル ,  非接触 ,  検査 ,  手法