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J-GLOBAL ID:201002256183172252   整理番号:10A0667616

多孔質陽極アルミナの障壁層上の堆積挙動

Deposition behavior on the barrier layer of porous anodic alumina
著者 (4件):
資料名:
巻: 99  号:ページ: 505-509  発行年: 2010年05月 
JST資料番号: D0256C  ISSN: 0947-8396  CODEN: APHYCC  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: ドイツ (DEU)  言語: 英語 (EN)
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多孔質陽極アルミナ(PAA)はナノ構造材料用の極めて重要なテンプレートである。PAAの障壁層上に酸化インジウムのナノ構造を初めて作製した。堆積層は障壁層を完全に覆い,PAAの化学溶解や機械剥離により自立薄層が得られた。堆積層の両側の形態を調べ,規則的酸化インジウムナノロッドが良好に自己整列し,半球配列の前面とナノ孔配列の背面が形成されたことを確認した。
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分類 (1件):
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薄膜成長技術・装置 
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