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J-GLOBAL ID:201002256404883272   整理番号:10A0387359

マイクロ流体チャンネルにおける連続流れ粒子取り扱いのためのマイクロマシン化されたStoneley音響波システム

A micromachined Stoneley acoustic wave system for continuous flow particle manipulation in microfluidic channels
著者 (4件):
資料名:
巻: 20  号:ページ: 035031,1-5  発行年: 2010年03月 
JST資料番号: W1424A  ISSN: 0960-1317  CODEN: JMMIEZ  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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この研究では,SAWベースのシステムの欠陥を軽減するために界面音響波(IWA)利用に基づいた高周波粒子取り扱いを提供する。設計,マイクロマシン化およびテストを行った。マイクロ流体チャンネルにおける特にサブミクロン寸法の粒子に特化して,粒子取り扱いについて述べる。IWAはStoneley波として知られており,2つの固体材料の間の界面に沿って音響波が損失なく伝搬する。このシステムではX-cutLiTaO3がインターデジタル変換器(IDT)によって励起され,X-cutLiTaO3/溶融シリカの界面に沿ってStoneley波が伝搬する。溶融シリカ中に形成されたマイクロ流体チャンネルの中へ音響波エネルギーを伝達する。緑色蛍光0.5μmポリスチレン粒子の水中濃度1.05g/cm-3を実証試験に用いた。その結果,提案した装置で,チャンネルの中での粒子の強い整列が観察された。
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分類 (1件):
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固体デバイス製造技術一般 
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