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J-GLOBAL ID：201002256417747122   整理番号：10A0134283

レジスト薄膜インサート金属粉末射出成形によるマイクロ構造体の作製と粉末粒径の影響

Fabrication of Micro-Structured Parts by Resist-Film Insert Metal Injection Molding and Effects of Particle Size

著者 (3件)： 西籔和明 (大阪府工高専) ,  柿下健一 ,  田中茂雄 (太盛工業)
資料名： 日本機械学会論文集 A編  (Transactions of the Japan Society of Mechanical Engineers. Series A)
巻： 76  号： 761  ページ： 75-80  発行年： 2010年01月25日 
JST資料番号： F0227B  ISSN： 0387-5008  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本研究では,X線露光・現像により作製されたレジスト薄膜を犠牲樹脂型に用いたマイクロ犠牲樹脂型インサート金属粉末射出成形(μ-SPiMIM)により,マイクロ柱状構造体を作製した。このResist/μ-SPiMIMプロセスにおいて,マイクロスケールからナノスケールに及ぶ広範囲な金属粉末粒径の影響を調査するため,数μmからサブμmの粒径の純銅粉末からMIM原料を調合し,得られた焼結体の密度,形状転写性や表面粗さなどの品質に及ぼす金属粉末粒径の影響を調査した。粉末粒径が小さくなると,形状転写性や表面粗さは改善される傾向にあるが,ナノ粉末は凝集を考慮してバインダの成分や配合割合を考慮する必要があることが分かった。(著者抄録)

シソーラス用語： *射出成形 ,  金属粉末 ,  レジスト ,  薄膜 ,  微細構造 ,  粒度依存性 ,  焼結体 ,  銅 ,  成形性 ,  転写 ,  表面粗さ ,  *マイクロマシニング
準シソーラス用語： *金属粉末射出成形 ,  転写性

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  圧粉,焼結  (WC02030X)

引用文献 (8件)：

• 1) GERMAN R. M. Science of powder metal. Utidaroukakuho. (1996)
• 2) GERMAN R. M. Injection Molding of Metals and Ceramics. MPIF. (1997)
• 3) MATSUZAKI S. Micro-reactor Technology. NTS Inc.. (2005) p.287-296.
• 4) NAKAJIMA N. LIGA Process. The Nikkan Kogyo Shimbun Ltd.. (1998)
• 5) SATOME Y. Development of Nano-die and Mechanical Parts by Electroforming (I). Journal of the Surface Finishing Society of Japan. (2004) vol.55, no.4, p.248-253.

タイトルに関連する用語 (7件)： レジスト薄膜 ,  インサート金属 ,  粉末射出成形 ,  マイクロ構造体 ,  作製 ,  粉末 ,  粒径