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J-GLOBAL ID：201002256466248530   整理番号：10A0328161

高密度格子の準Talbot効果の偏光依存性

Polarization dependence of the quasi-Talbot effect of the high-density grating

著者 (3件)： TENG Shuyun (The Coll. of Physics and Electronics, Shandong Normal Univ., Jinan, Shandong, China 250014) ,  GUO Wenzhen (Dep. of Physics, Dezhou Univ., Dezhou, Shandong, China 253023) ,  CHENG Chuanfu (The Coll. of Physics and Electronics, Shandong Normal Univ., Jinan, Shandong, China 250014)
資料名： Journal of the Optical Society of America. A. Optics, Image Science, and Vision  (Journal of the Optical Society of America. A. Optics, Image Science, and Vision)
巻： 27  号： 3  ページ： 366  発行年： 2010年03月 
JST資料番号： C0327B  ISSN： 1084-7529  CODEN： JOAOD6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： TMおよびTE偏光照明による近接場における1次元高密度格子による回折を研究し,回折強度分布を有限差分時間領域法によって計算した。計算結果は,いくつかの偏光照明による高密度格子の回折は互いに異なった。格子の準Talbot画像は入射波の偏光に依存し,近接場における格子の準Talbot画像が存在する条件も入射波の偏光によって変化した。著者らは,エネルギー流密度のベクトル分布に基づいてその説明を提示した。高密度格子の準Talbot画像の偏光依存性についてのこれらの研究は,近接場光リソグラフィーに対するこの格子の応用に有効である。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *結像 ,  光回折 ,  回折格子 ,  近接場 ,  有限差分時間領域法 ,  *依存性 ,  照明 ,  効果 ,  フォトリソグラフィー ,  *格子
準シソーラス用語： Talbot効果 ,  光リソグラフィー ,  *高密度格子 ,  *自己結像 ,  照明効果 ,  *偏光依存性

分類 (2件)： 光の散乱,回折,干渉  (BD03030M) ,  光の像形成  (BD03050I)

タイトルに関連する用語 (3件)： 高密度格子 ,  Talbot効果 ,  偏光依存性