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J-GLOBAL ID：201002256611835539   整理番号：10A1081252

高性能PMN-PT厚膜

High-Performance PMN-PT Thick Films

著者 (6件)： KOSEC Marija (Jozef Stefan Inst., Ljubljana, SVN) ,  URSIC Hana (Jozef Stefan Inst., Ljubljana, SVN) ,  HOLC Janez (Jozef Stefan Inst., Ljubljana, SVN) ,  HROVAT Marko (Jozef Stefan Inst., Ljubljana, SVN) ,  KUSCER Danjela (Jozef Stefan Inst., Ljubljana, SVN) ,  MALIC Barbara (Jozef Stefan Inst., Ljubljana, SVN)
資料名： IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control  (IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control)
巻： 57  号： 10  ページ： 2205-2212  発行年： 2010年10月 
JST資料番号： H0369A  ISSN： 0885-3010  CODEN： ITUCER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： スクリーン印刷技術を用いて,高エネルギー粉砕ナノサイズ粉末から,0.65Pb(Mg_1/3Nb_2/3)O₃-0.35PbTiO₃(0.65PMN-0.35PT)厚膜を,白金(Pt)被覆アルミナ基板上に作製した。この高エネルギー粉砕粉末により,950°Cで化学的均一な0.65PMN-0.35PT厚膜の処理を可能にした。白金被覆アルミナ基板との0.65PMN-0.35PT層の密着性を改善するため,Pb(Zr_0.53Ti_0.47O₃(PZT)層をスクリーン印刷し,950°Cで2時間電極と基板間に燒結した。最適量の充填粉末とともに0.65PMN-0.35PT中過剰PbOにより,液相の存在下で0.65PMN-0.35PTの焼成を可能にし,良好な誘電と圧電特性をもつ高密厚膜を得た。0.65PMN-0.35PT膜の2次効果を測定した。その実効係数M₃₃^effは,7.6×10^-16m²/V²と高かった。0.65PMN-0.35PT厚膜の高電歪により,0.65PMN-0.35PT/Pt厚膜に基づくアクチュエータを作製することを決定した。3.6kV/cmの印加電界で55μm/cmの変位を有するアクチュエータの高曲げ性を得た。有限要素方法(FEM)を用いて,曲げ対電界を計算し,その計算結果は低電界で測定データと良く一致した。

シソーラス用語： *ニオブ酸塩 ,  *マグネシウム化合物 ,  *鉛化合物 ,  *強誘電体 ,  *厚膜 ,  スクリーン印刷 ,  *チタン酸鉛 ,  アルミナ ,  基板 ,  *エレクトロセラミック ,  ジルコニウム酸チタン酸鉛 ,  誘電性 ,  電歪 ,  圧電気 ,  アクチュエータ ,  有限要素法 ,  電場計算 ,  誘電体薄膜 ,  結晶粒径
準シソーラス用語： PMN【化合物】

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (3件)： 高性能 ,  PMN-PT ,  厚膜