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J-GLOBAL ID：201002256747973196   整理番号：10A0549127

S0ラムモードを用いた薄膜板音響波共振器のモード結合解析

Coupling-of-Modes Analysis of Thin Film Plate Acoustic Wave Resonators Utilizing the S0 Lamb Mode

著者 (1件)： YANTCHEV Ventsislav (Uppsala Univ., Uppsala, SWE)
資料名： IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control  (IEEE Transactions on Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control)
巻： 57  号： 4  ページ： 801-807  発行年： 2010年04月 
JST資料番号： H0369A  ISSN： 0885-3010  CODEN： ITUCER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 薄膜における多種の板モード波の中でAlN薄膜の最低次ラム波(S0)がその弱拡散性,10000m/s以上の高音速性および3~3.5%という電気機械結合係数の観点から注目されているがその薄膜板音響波共振器(FPAR)の現状における解析は充分なものではない。本稿ではFPAR設計のためのモード結合(COM)解析法の適用可能性を検討しその結果この解析結果と実験結果はほぼ一致しこの解析法が適用できることを確認した。しかしこのCOMパラメータには薄膜定数変化が考慮されていないため得られた結果は近似的なものでしかなくその精度を高めるためにはこれらのパラメータを現実構造から抽出する必要がある。

シソーラス用語： *モード結合 ,  *モード解析 ,  *音響共振器 ,  Lamb波 ,  *窒化アルミニウム ,  *結合係数 ,  誘電体共振器 ,  反射率 ,  挿入損 ,  パラメータ推定 ,  電荷分布
準シソーラス用語： 電気機械結合係数

分類 (1件)： 共振器  (NC04050Y)

タイトルに関連する用語 (4件)： ラム ,  音響波 ,  共振器 ,  結合解析