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J-GLOBAL ID:201002257314307562   整理番号:10A0024614

60GHz帯におけるAlGaN/GaN系HEMTの出力特性

Output characteristics of AlGaN/GaN HEMTs at 60GHz frequency band
著者 (7件):
資料名:
巻: 109  号: 289(CPM2009 102-133)  ページ: 149-153  発行年: 2009年11月12日 
JST資料番号: S0532B  ISSN: 0913-5685  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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AlGaN/GaN系高電子移動度トランジスタ(HEMT)は高出力・高耐圧特性に優れるだけでなくミリ波帯(30-300GHz)で動作可能で,将来の超高速・大容量・長距離無線通信用デバイスとして期待されている。今回,AlGaN/GaN系HEMTの60GHz帯における入出力特性を評価した。入出力特性評価に用いた微細ゲートAlGaN/GaN系HEMTは,(0001)面方位SiC基板上にMOCVD法により成長したAl0.21Ga0.79N(18nm)/GaN(2μm)を用いて作製され,更に三層絶縁膜SiN/SiO2/SiNを有するMIS型HEMTである。ゲート長35nm,ゲート幅50μmのAlGaN/GaN系MIS-HEMTにおいて,出力電力密度1.07W/mm(出力電力17.3dBm)を周波数60GHzで達成した。(著者抄録)
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