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J-GLOBAL ID：201002257491792179   整理番号：10A1098831

酸化アルミニウム基体の微細構造,表面品質および性質の解析

АНАЛИЗ МИКРОСТРУКТУРЫ, КАЧЕСТВА ПОВЕРХНОСТИ И СВОИСТВ ПОДЛОЖЕК ИЗ ОКСИДА АЛЮМИНИЯ

著者 (8件)： ЛУКИН Е.С. ,  АНУФРИЕВА Е.В. ,  ПОПОВА Н.А. ,  МОРОЗОВ Б.А. ,  ПРЕОБРАЖЕНСКИИ В.С. ,  БЕЗЛЕПКИН В.А. ,  УХВАТОВА Л.С. ,  БРЖЕЗИНСКИИ Г.В.
資料名： Steklo i Keramika  (Steklo i Keramika)
号： 9  ページ： 9-14  発行年： 2010年09月 
JST資料番号： R0099A  ISSN： 0131-9582  CODEN： STKRA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ロシア (RUS)  言語： ロシア語 (RU)

抄録/ポイント： 高い電気物理学的および機械的特性と高純度表面調製の可能性をもつコランダムセラミックは広い電子技術,とくに集積回路への利用性がある。基体材料として要求される表面粗度,無多孔性(微結晶性,均一構造),研削・研磨加工による低欠陥性表面純度,機械的強度,熱伝導性,絶縁性,低誘電損失,耐熱性,耐摩耗性が基体製品の最重要性質である。セラミックの微細構造は,出発微粉末の構成,添加物分布,焼成条件および焼結機構に依存する。コランダム系マイクロ型基体および材料基体を製造する唯一企業JSC”Polikor”社ではほう酸,Mg塩添加アルミナの初期摩砕,高温焼成,湿式摩砕による高分散度アルミナを開発している。その研磨表面,結晶構造の電顕観察形態を例示した。ここでは,Al₂O₃-ZrO₂系ナノ粉末添加アルミナ基本材料の調製を行い,マイクロ型基体用のコランダム材料3種の表面品質を検討した。セラミック構造の形態,アルミナ粒度分布,微細構造,表面品質および性質(α-Al₂O₃量,平均粒子径,粗度,純度,熱伝導率,誘電率および誘電正接角,密度,曲げ強度)を評価した。研削および研磨後の表面品質はセラミック内結晶サイズに依存し,多くの点で出発粉末の分散度,添加物および焼結条件により決定されることが分った。

シソーラス用語： *酸化アルミニウム ,  セラミック ,  コランダム ,  *基板 ,  微細構造 ,  アルミナ ,  *酸化ジルコニウム ,  *複合材料 ,  形態 ,  粒度分布 ,  表面性状 ,  粒径 ,  表面粗さ ,  熱伝導率 ,  誘電率 ,  密度 ,  曲げ強さ

分類 (1件)： セラミック・磁器の性質  (YC03030G)

タイトルに関連する用語 (5件)： 酸化アルミニウム ,  微細構造 ,  表面品質 ,  性質 ,  解析