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J-GLOBAL ID：201002257580189680   整理番号：10A1152340

静電的に作動されるMEMS/NEMS共振体に対する電気機械的パラメータの変換依存最適化

Transduction Dependent Optimization of Electromechanical Parameters for Electrostatically Actuated MEMS/NEMS Resonators

著者 (3件)： YAN Jize (Univ. Cambridge, Cambridge, GBR) ,  LEE Joshua E.-Y. (City Univ. Hong Kong, HKG) ,  SESHIA Ashwin A. (Univ. Cambridge, Cambridge, GBR)
資料名： Journal of Nanoscience and Nanotechnology  (Journal of Nanoscience and Nanotechnology)
巻： 10  号： 11  ページ： 7533-7536  発行年： 2010年11月 
JST資料番号： W1351A  ISSN： 1533-4880  CODEN： JNNOAR  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 変換領域に沿って非一様な変形をもつマイクロおよびナノ機械的共振体における全体的な有効質量を予測するための正確な模型を実証した。変換領域に沿った非一様な変形を考慮すると,抽出される等価質量が全変換領域にわたり一定であると仮定することはできない。筆者らは,単一ポートを同じDCバイアスおよびAC駆動信号により駆動されるn個の等価なポートに分割する解を提案した。模型から得らた結果を以前に報告されたある範囲の高いQのシリコン共鳴体の実験的特性評価に適用し,模型と実験の間の非常に良好な一致を得た。特に変換が大きいときは,この模型は非一様変形に付随するモード形状にとって特に妥当する。模型に基づいて,作製平面において振動するマイクロおよびナノ機械的共鳴体に対して変換電極設計の最適化を提案した。

シソーラス用語： MEMS ,  *共振器 ,  *電気機械効果 ,  パラメータ ,  静電気 ,  質量 ,  *エネルギー変換 ,  *アクチュエータ
準シソーラス用語： NEMS ,  エネルギー転換

分類 (1件)： ロボットの設計・製造・構造要素  (IC04013A)

タイトルに関連する用語 (6件)： MEMS ,  NEMS ,  共振 ,  電気機械 ,  パラメータ ,  最適化