文献

J-GLOBAL ID：201002257968041901   整理番号：10A0283284

多エネルギーのパルス電子ビーム源によるZnO昇華:数値シミュレーションと検証

ZnO sublimation using a polyenergetic pulsed electron beam source: numerical simulation and validation

著者 (4件)： TRICOT S (Univ. d’Orleans, Orleans, FRA) ,  SEMMAR N (Univ. d’Orleans, Orleans, FRA) ,  LEBBAH L (Univ. d’Orleans, Orleans, FRA) ,  BOULMER-LEBORGNE C (Univ. d’Orleans, Orleans, FRA)
資料名： Journal of Physics. D. Applied Physics  (Journal of Physics. D. Applied Physics)
巻： 43  号： 6  ページ： 65301,1-8  発行年： 2010年02月17日 
JST資料番号： B0092B  ISSN： 0022-3727  CODEN： JPAPBE  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 電子ビームは,電子顕微鏡による物質解析などにおいて広く使用されてきたが,電子ビームによる薄膜の蒸着は,僅かな技術に限られてきた。この様な中,中空カソード内に放電を発生させ,誘電チャンネルを介し,これをアノードに送るという新たな種類の放電法が登場した。この方法による薄膜成長法は,試料をアブレーション処理するパルスレーザ蒸着(PLD)法と似ていることから,パルス電子ビーム蒸着(PED)法と呼ばれる。一方,固体試料中を通過する電子のエネルギー損失により,その表面が急激に高温化し,表面が爆発するという亜表面沸騰効果が明らかとされている。本稿では,PEDで発生する多エネルギー型電子ビームの場合でも,このような表面沸騰効果が発生するかどうかについて,シミュレーションにより調査した。まず,多エネルギービームによる試料の照射を考慮に入れ,パルス電子ビームで照射したZnO試料中の熱伝導モデルを構築した。また,試料中の温度場の計算には,COMSOL Multiphysicsソフトウェアを用い,モンテカルロシミュレーションによって,試料を伝搬する電子エネルギー損失を算出した。更に,電子衝突の影響を調査するため,電子ビーム衝突前後での試料表面を,走査型電子顕微鏡(SEM)によって観察した。この結果,ビーム内の電子,とりわけ,パルス端部の最遅延電子のエネルギー分布が,亜表面沸騰効果を抑えるエネルギー蒸着分布を示すことが明らかとされた。つまり,アブレーションによる薄膜成長にパルス電子ビームを使用するには,ビーム源は,PEDのような多エネルギー型である必要があることを示している。

シソーラス用語： *酸化亜鉛 ,  昇華 ,  モンテカルロ法 ,  *計算機シミュレーション ,  エネルギー損失 ,  *電子ビーム蒸着 ,  電子顕微鏡観察 ,  電子衝突

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (6件)： エネルギー ,  パルス電子ビーム ,  ZnO ,  昇華 ,  数値シミュレーション ,  検証