抄録/ポイント:
抄録/ポイント
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5tまでの搬送荷重を有する3つの高荷重空気動力学ミクロノズル軸受を比較した。ノズル直径100μmで直径90~322mmの5つのノズル冠を有する空気軸受MD400,1つのノズルと軸受面にバイパス溝と4つの溝冠を有する空気軸受ED415および軸受本体が炭素材で構成される外径が450mm,高さが150mmの焼結空気軸受S450を比較した。3barの空気圧を用い,スリット高さhが0μmの場合の最大搬送力F
0と最大強度S
maxを測定した。その結果,次のことが分かった。1)F
0はMD400では35kN,ED417では32.5kNおよびS450では37kNである,2)S
maxはMDでは750N/μm,ED417では500N/μmおよびS450では900N/μmである。