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J-GLOBAL ID：201002258205976523   整理番号：10A0552678

多結晶ダイヤモンドを使用した単一材料MEMS

SINGLE-MATERIAL MEMS USING POLYCRYSTALLINE DIAMOND

著者 (3件)： CAO Zongliang (Michigan State Univ., MI) ,  VARNEY Mike (Michigan State Univ., MI) ,  ASLAM Dean (Michigan State Univ., MI)
資料名： Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems  (Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems)
巻： 23rd Vol.1  ページ： 51-54  発行年： 2010年 
JST資料番号： W0377A  ISSN： 1084-6999  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： シリコンに比べて磨耗耐力が高い多結晶ダイヤモンドを使用したMEMSについて検討した。単一の材料のMEMS(SMM)技術について調べた。SMMを使用したRF MEMSとBioMEMS構造を提示した。高い絶縁と高い伝導性を有するポリCフィルムの製造を提示した。また,シリコン酸化物の上で成長させたポリCのドライエッチングによるパターン化,オーミック抵抗について言及した。抵抗は10⁸から10⁹Ωcmであった。

シソーラス用語： *MEMS ,  *ダイヤモンド ,  絶縁膜 ,  導電性 ,  ドライエッチング ,  酸化ケイ素
準シソーラス用語： シリコン酸化物 ,  絶縁性フィルム ,  多結晶ダイヤモンド

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (2件)： 多結晶ダイヤモンド ,  MEMS