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J-GLOBAL ID：201002258614732237   整理番号：10A0710444

多点型電極を用いたカーボンナノチューブの誘電泳動

Dielectrophoresis of carbon nanotubes using a multi-point type electrodes

著者 (3件)： 鈴木瑞明 (BEANSプロジェクト) ,  杉山正和 (BEANSプロジェクト) ,  杉山正和 (東大)
資料名： 電気学会マイクロマシン・センサシステム研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： MSS-10  号： 1-6.8-16.18-30  ページ： 123-126  発行年： 2010年06月17日 
JST資料番号： L2898B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： AFM(原子間力顕微鏡)/SPM(走査型プローブ顕微鏡)用のカンチレバーのチップ先端にカーボンナノチューブを接合する場合,現在は予め電極上に高周波泳動によりカーボンナノチューブを収集し,SEMで観察しながら,手動制御によりカーボンナノチューブを1本づつ移植する手法が採られているが,この手法は生産性が低い。本研究では,カーボンナノチューブ分散液中で電極に数100kHz~数MHzの高周波を印加する誘電泳動(高周波泳動)によりカーボンナノチューブを操作し,マルチプローブアレイを想定して,規則的に並ぶ複数の先鋭化された電極先端部分に選択的に配置する技術について検討した。実験の結果,上記操作は可能であることが分かった。また,電極突起部を先鋭化した構造とすることにより,電極先端部の1μm以下の狭い領域のみに,100nm程度のバンドル径でカーボンナノチューブを集中的に付着できることも判明した。

シソーラス用語： 電極 ,  *カーボンナノチューブ ,  *電気泳動 ,  誘電分極 ,  HF【周波数】 ,  電圧 ,  *走査型プローブ顕微鏡 ,  *原子間力顕微鏡 ,  電極構造

分類 (1件)： 電子顕微鏡,イオン顕微鏡  (BD02050B)

引用文献 (2件)：

• S.Akita, H. Nishijima, Y. Nakayama, F. Tokumasu and K. Takeyasu: “Carbon nanotube tips for a scanning probe microscope: their fabrication and properties”, J. Phys. D: Appl. Phys.32, pp. 1044-1048(1999)
• J. Tang, G. Yang, Q. Zhang, A. Parhat, B. Maynor, J. Liu, L. Qin, and O. Zhou: ”Rapid and Reproducible Fabrication of Carbon Nanotube AFM Probes by Dielectrophoresis”, Nano Lett., Vol.5, No.1, pp. 11-14(2005)

タイトルに関連する用語 (2件)： カーボンナノチューブ ,  誘電泳動