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J-GLOBAL ID：201002259126514898   整理番号：10A0135368

数10nm変位測定用の空気結合超音波による改良型位相検出法

Improved phase-detection method using an air-coupled ultrasonic wave for a few-tens of nanometers displacement measurements

著者 (3件)： SASAKI Katsuhiro (Dep. of Electrical and Electronic Engineering, Fac. of Engineering and Resource Sci., Akita Univ.) ,  NISHIHIRA Morimasa (Dep. of Electrical and Electronic Engineering, Fac. of Engineering and Resource Sci., Akita Univ.) ,  IMANO Kazuhiko (Dep. of Electrical and Electronic Engineering, Fac. of Engineering and Resource Sci., Akita Univ.)
資料名： IEICE Electronics Express (Web)  (IEICE Electronics Express (Web))
巻： 1  号： 15  ページ： 472-476 (J-STAGE)  発行年： 2004年 
JST資料番号： U0039A  ISSN： 1349-2543  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 超音波信号の位相感度を高めるために,多基準波の位相を最大位相センシティブ領域の周りに配置した。位相検出の分解能は,最大センシティブ位相検出出力を増幅することにより改善される。40kHz空気結合超音波使用の40nm変位(λ/200,000)の分解能を達成した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *変位測定 ,  *超音波応用計測 ,  位相検波 ,  分解能 ,  高感度 ,  測定精度

分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

引用文献 (5件)：

• [1] D. Marioli, C. Narduzzi, C. Offelli, D. Petri, E. Sardini, and A. Taroni, “Digital time-of-flight measurement for ultrasonic sensors, ” IEEE Trans. Instrum. Meas., vol. 41, pp. 93-97, 1992.
• [2] T. Kimura, S. Wadaka, K. Misu, T. Nagatsuka, T. Tajime, and M. Koike, “A high resolution ultrasonic range measurement method using double frequencies and phase detection, ” Proc. IEEE Ultrason. Symp., vol. 1, pp. 737-741, 1995.
• [3] Z. Kojiro, T. J. Kim, G. Lippold, T. Gudra, and W. Grill, “Distance resolution of the scanning acoustic air microscope, ” Ultrasonics, vol. 35, pp. 563-567, 1998.
• [4] K. Sasaki, M. Nishihira, and K. Imano, “Sub-micrometer order displacement measurements using an air-coupled ultrasonic transducer at frequencies of 40 and 400kHz, ” Jpn. J. Appl. Phys., vol. 43, no. 5B, pp. 3071-3075, 2004.
• [5] K. Imano and H. Inoue, “Measurement of micrometer order displacement using phase-shift type ultrasonic correlation system in MHz range, ” Jpn. J. Appl. Phys., vol. 35, no. 5B, pp. 3177-3179, 1996.

タイトルに関連する用語 (4件)： 変位測定 ,  超音波 ,  位相 ,  検出法