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J-GLOBAL ID:201002259446188859   整理番号:10A0905270

薄膜のMOCVD応用のための金属置換AlxCr1-x(アセチルアセトナト)3単一前駆体の合成とキャラクタリゼーション

Synthesis and characterization of metal substituted Al x Cr1- x (acetylacetonate)3 single-source precursors for their application to MOCVD of thin films
著者 (6件):
資料名:
巻: 29  号: 13  ページ: 2680-2688  発行年: 2010年09月03日 
JST資料番号: C0301B  ISSN: 0277-5387  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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分類 (2件):
分類
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第6族,第7族元素の錯体  ,  非遷移金属元素の錯体 
物質索引 (1件):
物質索引
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