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J-GLOBAL ID：201002259498209277   整理番号：10A0950049

スプライン関数を用いたICリードフレームの低コントラスト欠陥検査方法の提案

A Proposal of a Visual Inspection Method for Detecting Low Contrast Defects of an IC Lead Frame by Using a Spline Function

著者 (3件)： 重森清史 (熊本県産業技術センター) ,  菊野敏博 (熊本防錆工業株式会社) ,  井上高宏 (熊本大学)
資料名： 電気学会論文誌 C  (IEEJ Transactions on Electronics, Information and Systems)
巻： 130  号： 9  ページ： 1546-1553 (J-STAGE)  発行年： 2010年 
JST資料番号： S0810A  ISSN： 0385-4221  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 外観検査において,しみ,光沢むら等の正常部に対して明確なクラスタリングが困難な欠陥(低コントラスト欠陥)が各分野で問題となっており,その効果的な自動検査法が望まれている。本稿では,ICリードフレームのパッドと呼ばれるICチップ搭載箇所を検査対象とする。ICリードフレームのパッド部における低コントラスト欠陥は,正常部との濃度分布を明確に区分することが難しく,また,大きさや形状も様々であるため,従来の手法では困難である。そこで,本手法では,スプライン関数を用いたICリードフレームの低コントラスト欠陥検査方法を提案した。本手法は,スプライン関数を用いて検査対象画像毎に仮想良品画像を作成し,これを比較検査法の参照画像として用いるものである。この仮想良品画像は,スプライン曲面として構成され,その補間機能を用いることにより,正常部と欠陥部の差別化が可能となり,低コントラスト欠陥検出および良品の誤検出の低減を可能とする。実験により提案手法の有効性を確認した。

シソーラス用語： *欠陥検査 ,  スプライン関数 ,  *リードフレーム ,  *集積回路 ,  *コントラスト ,  遺伝的アルゴリズム ,  画像処理 ,  *パターンマッチング
準シソーラス用語： *イメージマッチング

分類 (2件)： パターン認識  (JE07000S) ,  固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G)

引用文献 (20件)：

• (1) 秦 清治:「見えにくい欠陥・評価しにくい欠陥・人の感覚に依存する欠陥の外観検査」,電学産業システム情報化研資,IIS-06-23, pp. 23-26 (2006)
• (2) 中野宏毅・森 由美:「マルチウェーブレットを用いた低コントラスト欠陥の定量評価手法 液晶ディスプレイのムラの抽出・定量化手法」,View2004 ビジョン技術の実利用ワークショップ,pp. 44-47, 横浜 (2004)
• (3) 小野豊土・矢口博之・市野 学:「液晶パネルの自動検査システムの基礎的研究」,信学会情報・システムソサイエティ大会,p. 171 (1997)
• (4) 渡部典生・市野 学・矢口博之:「むら検査方法および装置」,公開番号:特開平11-066311 (1999)
• (5) (社)精密工学会画像応用技術専門委員会編:「画像処理応用システム」,東京電機大学出版局 (2000)

タイトルに関連する用語 (6件)： スプライン関数 ,  IC ,  リードフレーム ,  コントラスト ,  欠陥検査 ,  提案