WO<sub>3</sub>薄膜を基本とする二酸化窒素センサの特性に対する金の効果

ANISIMOV O. V.; GAMAN V. I.; MAKSIMOVA N. K.; NAJDEN Yu. P.; NOVIKOV V. A.; SEVASTYANOV E. Yu.; RUDOV F. V.; CHERNIKOV E. V.

文献

J-GLOBAL ID：201002259540312784 整理番号：10A0510418

WO₃薄膜を基本とする二酸化窒素センサの特性に対する金の効果

Effect of Gold on the Properties of Nitrogen Dioxide Sensors Based on Thin WO₃ Films

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資料名：
巻： 44 号： 3 ページ： 366-372 発行年： 2010年03月
JST資料番号： T0093A ISSN： 1063-7826 CODEN： SMICES 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

分散したAu層を堆積した前後におけるWO₃の微小構造と特性を研究した。WO₃:Au層にはγ-WO_2.72相が形成され,それによって薄膜の伝導度が大幅に増大することが分かった。また,分散した金の層の堆積によって,NO₂に対する検出感度は数倍増加することが分かった。WO₃薄膜は導電性架橋によって結ばれた結晶粒を含む構造を持つと仮定して導出した解析的な表式によって,NO₂に対するセンサの感度の濃度依存性とカイネティクスが記述されることが分かった。これらの表式を用いて実験データを解析することによって,NO₂の吸着と解離に関する活性化エネルギーと吸着熱を決定することができる。

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その他の固体デバイス

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WO3薄膜を基本とする二酸化窒素センサの特性に対する金の効果

WO₃薄膜を基本とする二酸化窒素センサの特性に対する金の効果