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J-GLOBAL ID：201002259543268522   整理番号：10A1247793

非ヌルテスト干渉計のための自動表面位置決め

Automated surface positioning for a non-null test interferometer

著者 (4件)： BAER Goran (Univ. Stuttgart, Stuttgart, DEU) ,  GARBUSI Eugenio (Univ. Stuttgart, Stuttgart, DEU) ,  LYDA Wolfram (Univ. Stuttgart, Stuttgart, DEU) ,  OSTEN Wolfgang (Univ. Stuttgart, Stuttgart, DEU)
資料名： Optical Engineering  (Optical Engineering)
巻： 49  号： 9  ページ： 095602.1-095602.12  発行年： 2010年09月 
JST資料番号： B0577B  ISSN： 0091-3286  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 表面の干渉計試験では,干渉計共振器中への試験物体の不正確な設置による表面収差の導入を避ける必要がある。試験対象面が平面や球面の場合には,調節誤差を通常表面形状誤差から区別し,除去することは容易であるが,非球面の場合には簡単ではなくなる。ここでは,非球面の横方向および軸方向位置ずれが測定位相におよぼす影響を計算し,最初の粗の表面アラインメント,引き続く表面の干渉計調節とからなる表面位置の自動調節法を提示した。提案手順の実施可能性を示す実験結果を示した。

シソーラス用語： *光学部品検査 ,  干渉計 ,  球面 ,  零位調整 ,  アラインメント ,  位置決め ,  自動化 ,  *光干渉法
準シソーラス用語： 光干渉計 ,  非球面

分類 (1件)： 干渉測定と干渉計  (BD07070G)

タイトルに関連する用語 (1件)： 干渉計