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J-GLOBAL ID：201002260056400570   整理番号：10A1146765

紫外線硬化型樹脂によるソフトピンチャックの開発-樹脂塗布条件とピン形状-

著者 (3件)： 吉冨健一郎 (防衛大) ,  宇根篤暢 (防衛大) ,  餅田正秋 (防衛大)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 2010  号： 秋季(CD-ROM)  ページ： ROMBUNNO.F16  発行年： 2010年09月10日 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 次世代の両鏡面ウエハは高平坦化のために形状修正研磨が必要であり,平坦度を維持して裏面に傷を発生させないチャックが望まれている。本研究では,ガラスウエハを研磨により平面矯正するさいに用いるチャックとして,ウエハを柔らかく保持できる紫外線硬化樹脂製のピンにより構成されたソフトピンチャックの開発を目指す。本報では,ピン形成に使用する空気圧ディスペンサの塗布条件とピン形状との関係について明らかにする。(著者抄録)

シソーラス用語： *チャック ,  ウエハ【IC】 ,  平坦性 ,  光重合型樹脂 ,  *装置 ,  形状精度
準シソーラス用語： *ソフトピンチャック ,  紫外線硬化樹脂 ,  *半導体製造装置 ,  平坦度

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (3件)： 紫外線硬化型樹脂 ,  開発 ,  塗布条件