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J-GLOBAL ID：201002261842467684   整理番号：10A0403493

架橋PTFE微細加工体をモールドとしたナノインプリント法に関する研究

著者 (9件)： 高橋朋宏 ,  福武直之 ,  高澤侑也 ,  五輪智子 ,  佐々木隆 ,  三浦喬晴 ,  大島明博 ,  田川精一 ,  鷲尾方一
資料名： 日本化学会講演予稿集  (日本化学会春季年会講演予稿集)
巻： 90th  号： 2  ページ： 356  発行年： 2010年03月12日 
JST資料番号： S0493A  ISSN： 0285-7626  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 架橋ポリテトラフルオロエチレン(RX-PTFE)は化学的安定性,耐熱性,耐放射線性,低摩擦性などの優れた特徴を持つ。これまで集束イオンビーム照射によって,PTFE及び架橋PTFE等のフッ素系高分子の微細加工を行ってきた。本研究では,作製したRX-PTFEのナノスケール微細加工を,電子線硬化性樹脂を用いたナノインプリント法のモールドに利用したので,その結果を報告する。(著者抄録)

シソーラス用語： *ポリテトラフルオロエチレン ,  架橋【高分子】 ,  *ナノメータ加工 ,  *押付成形 ,  安定性 ,  耐熱性 ,  耐放射線性 ,  摩擦 ,  イオン照射 ,  パターン転写 ,  集束イオンビーム ,  ケイ素 ,  ウエハ【IC】 ,  スピンコーティング ,  電子顕微鏡観察
準シソーラス用語： *ナノインプリント ,  化学的安定性 ,  橋かけ高分子 ,  低摩擦

分類 (3件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  高分子固体のその他の性質  (CG02025L) ,  固-固界面  (CB12060M)

タイトルに関連する用語 (6件)： 架橋 ,  PTFE ,  微細加工 ,  モールド ,  ナノインプリント ,  研究