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J-GLOBAL ID：201002261860615712   整理番号：10A0488951

静電気力駆動のMEMSマイクロミラー

A MEMS micromirror driven by electrostatic force

著者 (5件)： HU Fangrong (State Key Lab of Optical Technologies for Microfabrication, Inst. of Optics and Electronics, Chinese Acad. of ...) ,  HU Fangrong (Electronic Engineering Dep., Guilin Univ. of Electronic Technol., Guilin 541004, CHN) ,  YAO Jun (State Key Lab of Optical Technologies for Microfabrication, Inst. of Optics and Electronics, Chinese Acad. of ...) ,  QIU Chuankai (State Key Lab of Optical Technologies for Microfabrication, Inst. of Optics and Electronics, Chinese Acad. of ...) ,  REN Hao (State Key Lab of Optical Technologies for Microfabrication, Inst. of Optics and Electronics, Chinese Acad. of ...)
資料名： Journal of Electrostatics  (Journal of Electrostatics)
巻： 68  号： 3  ページ： 237-242  発行年： 2010年06月 
JST資料番号： W0917A  ISSN： 0304-3886  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文ではマイクロエレクトロメカニカルシステム(MEMS)のマイクロミラーを示した。マイクロミラーは静電気力によって駆動され,静電的引き入れ効果を除去することによって大きな平面外ストロークを達成できる。マイクロミラーは中心に400μm×400μmのミラーと,各辺にあるスプリングと3つの固定底電極によって構成されている。設計指針および解析モデルを共に開発し,それらを有限要素解析(FEA)によって検証した。設計したマイクロミラーのピストン動作に対する共振周波数はFEAシミュレーションによれば約2.5kHzであった。マイクロミラーのプロトタイプを表面マイクロマシニング工程によって製作し,マイクロシステム解析計によって成功裡に試験した。100Vにおいて1.65μmの面外ストロークが観察され,これは解析モデルからの予測結果とよく一致した。Copyright 2010 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *力 ,  *反射鏡 ,  *MEMS ,  指針 ,  解析モデル ,  マイクロマシニング ,  鏡 ,  適応光学
準シソーラス用語： *マイクロマシン技術システム ,  *マイクロミラー ,  形状可変ミラー ,  *静電気力 ,  設計指針 ,  有限要素解析

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  光デバイス一般  (BD06010L)

タイトルに関連する用語 (3件)： 静電気力 ,  MEMS ,  マイクロミラー