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J-GLOBAL ID：201002262068333013   整理番号：10A1032548

高速・高分解能位置決めステージ用直動型超音波モータの真空中における摩擦駆動特性

著者 (3件)： 磯崎委志 (東北大 工) ,  阿隅一将 (太平洋セメント) ,  足立幸志 (東北大 工)
資料名： 日本トライボロジー学会トライボロジー会議予稿集  (Proceedings of JAST Tribology Conference)
巻： 2010-9  ページ： 193-194  発行年： 2010年09月01日 
JST資料番号： Y0047B  ISSN： 0919-6005  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *位置決め装置 ,  *超音波モータ ,  真空 ,  *摩擦伝動 ,  圧電素子 ,  アクチュエータ ,  耐摩耗性 ,  安定性 ,  高分解能 ,  高速度 ,  半導体工業 ,  試験装置
準シソーラス用語： 検査装置

分類 (2件)： その他の機械要素  (QB01120F) ,  電動機  (NB07030U)

タイトルに関連する用語 (6件)： 高分解能 ,  ステージ ,  直動 ,  超音波モータ ,  摩擦 ,  駆動特性