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J-GLOBAL ID：201002262209790243   整理番号：10A0826765

ウエハ-レベルのパッケージングの実現に対して設計した集積型レーザDoppler血流計

Integrated Laser Doppler Blood Flowmeter Designed to Enable Wafer-Level Packaging

著者 (6件)： KIMURA Yoshinori (Pioneer Corp., Kawasaki, JPN) ,  KIMURA Yoshinori (Kyushu Univ., Fukuoka, JPN) ,  GOMA Masaki (Pioneer Corp., Kawasaki, JPN) ,  ONOE Atsushi (Pioneer Corp., Kawasaki, JPN) ,  HIGURASHI Eiji (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  SAWADA Renshi (Kyushu Univ., Fukuoka, JPN)
資料名： IEEE Transactions on Biomedical Engineering  (IEEE Transactions on Biomedical Engineering)
巻： 57  号： 8  ページ： 2026-2033  発行年： 2010年08月 
JST資料番号： C0236A  ISSN： 0018-9294  CODEN： IEBEAX  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： それぞれのキャビティ内にフォトダイオードと半導体レーザを配置した二つのSiキャビティから成る集積型レーザDoppler血流量計用センサ構造を開発し,マイクロマシニングを用いてこのセンサを実現した。このセンサ構造は,Si蓋と集光用Siマイクロレンズを有し,これらを用いて気密封止を行う。周波数重みづけ光うなりパワースペクトルから組織血流モデルを導出した。この構造は,光導波との結合に基づく電力損失が無く,動作消費電力を劇的に低減できる。このセンサを用いてヒト抹消血流を測定し,高い線形性を実現した。

シソーラス用語： *生体計測機器 ,  マイクロマシニング ,  ケイ素 ,  フォトダイオード ,  半導体レーザ ,  空洞 ,  マイクロレンズ ,  数学モデル ,  生体計測 ,  線形性 ,  モーメント ,  素子構造 ,  *マイクロセンサ
準シソーラス用語： パッケージング ,  *レーザDoppler血流計 ,  血流速度

分類 (1件)： 生体計測  (EL03020C)

タイトルに関連する用語 (5件)： ウエハ ,  パッケージング ,  設計 ,  集積 ,  レーザDoppler血流計