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J-GLOBAL ID：201002262211097636   整理番号：10A1126522

3D有限要素法を用いたLove波センサの質量感度係数評価

Mass Sensitivity Evaluation of a Love Wave Sensor Using the 3D Finite Element Method

著者 (4件)： ROCHA-GASO M.-I. (Universidad Politecnica de Valencia, Valencia, ESP) ,  FERNANDEZ-DIAZ R. (Universidad Politecnica de Valencia, Valencia, ESP) ,  ARNAU-VIVES A. (Universidad Politecnica de Valencia, Valencia, ESP) ,  MARCH-IBORRA C. (Politecnica de Valencia, Valencia, ESP)
資料名： Proceedings of the IEEE International Frequency Control Symposium  (Proceedings of the IEEE International Frequency Control Symposium)
巻： 2010  ページ： 228-231  発行年： 2010年 
JST資料番号： C0958A  ISSN： 1075-6787  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 3次元ZnO/XY LiNbO₃ LW(Love波)センサをモデル化し,検出フィルムを用いてシミュレートした。検出フィルムの厚み変化を表面密度の効果を形に表すためにシミュレーションで実行した。その結果として,電圧波形を出力IDTで得て時間遅れを知るために用いた。これらの時間遅れを電気位相シフトと関連付けた。600.0cm²/gの位相質量感度係数を評価し,337.5cm²/gの周波数質量感度係数に相当する物を得た。この質量感度係数はLWセンサに関して文献で報告された値の範囲にあり,QCMベースのセンサに関して報告された最高の周波数感度係数よりも約5倍大きい。3D-FEMシミュレーションはLWセンサ研究のための有力なツールであるが,実寸法でのシミュレーションはなお難問である。

シソーラス用語： 有限要素法 ,  数値解析 ,  *Love波 ,  係数 ,  *質量 ,  センサ ,  信号変換器 ,  微量天秤
準シソーラス用語： IDT ,  QCM ,  *感度係数 ,  *三次元FEM解析 ,  *振動センサ

分類 (1件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K)

タイトルに関連する用語 (6件)： 3D ,  有限要素法 ,  Love波 ,  質量 ,  感度係数 ,  評価