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J-GLOBAL ID：201002262808973801   整理番号：10A0876272

結晶性ダイヤモンドを組み込んだダイヤモンド状炭素膜の特性化

Characterization of crystalline diamond incorporated diamond-like carbon films

著者 (9件)： MARCIANO F.r. (Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE), Laboratorio Associado de Sensores e Materiais (LAS), Av. dos ...) ,  MARCIANO F.r. (Instituto Tecnologico de Aeronautica (ITA), Centro Tecnico Aeroespacial (CTA), Pca. Marechal Eduardo Gomes, 50 - Sao ...) ,  BONETTI L.f. (Clorovale Diamantes Industria e Comercio Ltda, Estr. do Torrao de Ouro, 500 - Sao Jose dos Campos, 12229-390, SP, BRA) ,  LIMA-OLIVEIRA D.a. (Clorovale Diamantes Industria e Comercio Ltda, Estr. do Torrao de Ouro, 500 - Sao Jose dos Campos, 12229-390, SP, BRA) ,  MELLO C.b. (Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE), Laboratorio Associado de Sensores e Materiais (LAS), Av. dos ...) ,  MELLO C.b. (Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE), Laboratorio Associado de Plasma (LAP), Av. dos Astronautas 1758 ...) ,  UEDA M. (Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE), Laboratorio Associado de Plasma (LAP), Av. dos Astronautas 1758 ...) ,  CORAT E.j. (Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE), Laboratorio Associado de Sensores e Materiais (LAS), Av. dos ...) ,  TRAVA-AIROLDI V.j. (Instituto Nacional de Pesquisas Espaciais (INPE), Laboratorio Associado de Sensores e Materiais (LAS), Av. dos ...)
資料名： Diamond and Related Materials  (Diamond and Related Materials)
巻： 19  号： 10  ページ： 1139-1143  発行年： 2010年10月 
JST資料番号： W0498A  ISSN： 0925-9635  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本紙の目的は,プラズマ化学気相成長法で作り出された組み込まれた結晶性ダイヤモンド(CD)を伴うダイヤモンド状炭素(DLC)膜の生産と特性化について示すことである。CD-DLC膜は,走査電子顕微鏡やX線回折,原子間力顕微鏡,ラマン分光法によって特性化された。濡れ接触角や応力と摩擦係数も評価した。今回の結果は,CD-DLC膜がより水素化していて,疎水性で,摩擦係数が比較的高いことを実証した。応力値はほとんど一定に保たれた。Copyright 2010 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *C/C複合材料 ,  ダイヤモンド ,  ナノ結晶 ,  ダイヤモンド状炭素 ,  *DLC膜 ,  製膜 ,  プラズマCVD ,  微細構造 ,  表面性状

分類 (2件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (4件)： 結晶性 ,  ダイヤモンド ,  ダイヤモンド状炭素 ,  特性化