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J-GLOBAL ID：201002262842667981   整理番号：10A0838877

光干渉計測最新動向 総論-光干渉計測とその関連技術-

著者 (1件)： 山口一郎 (東洋精機製作所)
資料名： Optronics  (Optronics)
号： 344  ページ： 92-97  発行年： 2010年08月10日 
JST資料番号： Y0019A  ISSN： 0286-9659  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 光干渉計測の基礎的事項,歴史的背景,最近の動向について概説した。1960年に光の誘導放射を利用したレーザーが発明され,明るくて可干渉性の高い単色点光源が得られるようになって干渉計測技術は一躍簡便化された。これにより干渉計測の用途は一気に拡大され,半導体の露光装置など高精度の制御には欠かせないものとなった。90年代にはデジタルカメラの実用化による撮像素子の画素数の増大により,高密度の干渉縞であるホログラムの記録も可能になった。すなわち以前の光による再生に代わって計算機で振幅と位相の3次元分布が数値と求められるようになった。デジタルホログラフィは撮像レンズが不要で,光学系も簡単であり,ある意味で干渉計測の究極の姿ということもできる。干渉計測の関連分野として,Talbot干渉計とDeflectometryについて述べた。

シソーラス用語： *光干渉法 ,  波面 ,  *形状測定 ,  干渉縞 ,  *自動計測 ,  *ホログラフィー ,  光干渉断層計 ,  位相シフト ,  スペックル ,  ホログラフィー干渉法 ,  スペックル干渉法
準シソーラス用語： ディジタルホログラフィー ,  Talbot効果

分類 (1件)： 干渉測定と干渉計  (BD07070G)

タイトルに関連する用語 (4件)： 光干渉 ,  計測 ,  最新動向 ,  干渉計測