文献

J-GLOBAL ID：201002263661601446   整理番号：10A0356214

レーザホログラフィーと集束イオンビームリソグラフィーを組合せて作製した単一欠陥フォトニック結晶空洞レーザ

Single-defect photonic crystal cavity laser fabricated by a combination of laser holography and focused ion beam lithography

著者 (3件)： AHN Sungmo (Dep. of Physics and Astronomy and Inter-university Semiconductor Res. Center, Seoul National Univ., Seoul 151-747, KOR) ,  KIM Sihan (Dep. of Physics and Astronomy and Inter-university Semiconductor Res. Center, Seoul National Univ., Seoul 151-747, KOR) ,  JEON Heonsu (Dep. of Physics and Astronomy and Inter-university Semiconductor Res. Center, Seoul National Univ., Seoul 151-747, KOR)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 96  号： 13  ページ： 131101  発行年： 2010年03月29日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： フォトニック結晶(PC)素子をレーザホログラフィー(背景のPC生成)と集束イオンビームリソグラフィー(欠陥形成)を組合せて大規模且つ高スループットで作製する方法を実現した。単一の空気孔欠陥を持つInP系正方格子PCレーザ配列をこの組合せリソグラフィーにより作製した。得られたレーザは二種類のレーザ発振モードを一貫して示し,それらをスペクトル特性と偏光特性の四重極子モードと双極子モードとして同定した。高いQ値(約2200)と低いレーザ発振閾値(約0.25mW)はレーザの品質が電子ビームリソグラフィーにより形成したPCレーザのものと同程度であることを示した。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： ホログラフィー ,  レーザビーム ,  集束イオンビーム ,  *フォトニックバンドギャップ ,  正方格子 ,  リン化インジウム ,  半導体材料 ,  *レーザ発振 ,  *リソグラフィー ,  レーザ共振器 ,  格子欠陥 ,  *フォトニック結晶
準シソーラス用語： *イオンビームリソグラフィー

分類 (1件)： 固体レーザ  (BD04080W)

タイトルに関連する用語 (8件)： レーザ ,  ホログラフィー ,  集束 ,  イオンビームリソグラフィー ,  作製 ,  欠陥 ,  フォトニック結晶 ,  空洞