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J-GLOBAL ID：201002263761289792   整理番号：10A0963014

陽極ボンディングにおけるR₂O-Al₂O₃-SiO₂ガラスセラミックの電気的特性

Electrical properties of R₂O-Al₂O₃-SiO₂ glass-ceramics for anodic bonding

著者 (3件)： XIONG Dehua (Wuhan Univ. Technol., Wuhan, CHN) ,  LI Hong (Wuhan Univ. Technol., Wuhan, CHN) ,  CHENG Jinshu (Wuhan Univ. Technol., Wuhan, CHN)
資料名： Journal of Materials Science. Materials in Electronics  (Journal of Materials Science. Materials in Electronics)
巻： 21  号： 9  ページ： 882-888  発行年： 2010年09月 
JST資料番号： W0003A  ISSN： 0957-4522  CODEN： JMTSAS  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 陽極ボンディング材料に用いるLi₂O-Na₂O-K₂O-Al₂O₃-SiO₂(R₂O-Al₂O₃-SiO₂)系ガラスセラミックの,電気的特性(誘電率,誘電損失および電気伝導度)に及ぼす温度と周波数の影響について検討した。ガラスセラミックはリチウムメタケイ酸塩(Li₂SiO₃)が主な結晶相である。母材ガラスと比較して,誘電定数と誘電損失はガラスセラミックがいずれも小さな値を示し,室温から400°Cに試験温度を高めるにつれて誘電定数と誘電損失は徐々に増大する。テスト周波数(30~300MHz)はサンプルの誘電特性にはほとんど影響しない。電気伝導度は温度上昇につれてはじめは低下し,そして,増大に転じる傾向を示した。このガラスセラミックは適度な熱処理を施した後には高周波における誘電定数が低くなり,優れた安定性をもつ。きわめて高い周波数領域における陽極ボンデング材料として有効利用が期待される。

シソーラス用語： *ガラスセラミック ,  *誘電材料 ,  電気的性質 ,  *ボンディング【IC】 ,  金属酸化物 ,  ケイ素酸素酸塩 ,  ケイ酸塩ガラス ,  温度依存性 ,  熱処理条件 ,  混合物 ,  MEMS ,  電極材料 ,  アルカリ金属化合物

分類 (2件)： 固体デバイス材料  (NC03020K) ,  その他の電気・電子部品  (NA05090R)

タイトルに関連する用語 (6件)： 陽極 ,  ボンディング ,  Al2O3 ,  SiO2 ,  ガラスセラミック ,  電気的特性