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J-GLOBAL ID：201002264119274400   整理番号：10A0952265

化学蒸着によるグラフェンのウエハ-規模合成および水素センサにおける応用

Wafer-scale synthesis of graphene by chemical vapor deposition and its application in hydrogen sensing

著者 (16件)： WU Wei (Center for Advanced Materials, Univ. of Houston, Houston, TX 77204, USA) ,  WU Wei (Dep. of Electrical and Computer Engineering, Univ. of Houston, Houston, TX 77204, USA) ,  LIU Zhihong (Dep. of Electrical and Computer Engineering, Univ. of Houston, Houston, TX 77204, USA) ,  JAUREGUI Luis A. (Birck Nanotechnology Center, Purdue Univ., West Lafayette, IN 47907, USA) ,  JAUREGUI Luis A. (School of Electrical and Computer Engineering, Purdue Univ., West Lafayette, IN 47907, USA) ,  YU Qingkai (Center for Advanced Materials, Univ. of Houston, Houston, TX 77204, USA) ,  YU Qingkai (Dep. of Electrical and Computer Engineering, Univ. of Houston, Houston, TX 77204, USA) ,  PILLAI Rajeev (Center for Advanced Materials, Univ. of Houston, Houston, TX 77204, USA) ,  CAO Helin (Birck Nanotechnology Center, Purdue Univ., West Lafayette, IN 47907, USA) ,  CAO Helin (Dep. of Physics, Purdue Univ., West Lafayette, IN 47907, USA) ,  BAO Jiming (Dep. of Electrical and Computer Engineering, Univ. of Houston, Houston, TX 77204, USA) ,  CHEN Yong P. (Birck Nanotechnology Center, Purdue Univ., West Lafayette, IN 47907, USA) ,  CHEN Yong P. (School of Electrical and Computer Engineering, Purdue Univ., West Lafayette, IN 47907, USA) ,  CHEN Yong P. (Dep. of Physics, Purdue Univ., West Lafayette, IN 47907, USA) ,  PEI Shin-shem (Center for Advanced Materials, Univ. of Houston, Houston, TX 77204, USA) ,  PEI Shin-shem (Dep. of Electrical and Computer Engineering, Univ. of Houston, Houston, TX 77204, USA)
資料名： Sensors and Actuators. B. Chemical  (Sensors and Actuators. B. Chemical)
巻： 150  号： 1  ページ： 296-300  発行年： 2010年09月21日 
JST資料番号： T0967A  ISSN： 0925-4005  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 環境圧力下での化学蒸着により,Cu箔上に大面積を持つグラフェンを合成した。4′′×4′′グラフェン膜を,熱的に成長した酸化物膜で6′′Siウエハ上に転写した。Ramanマッピングから,単層グラフェンが転写グラフェン膜を支配することが判明した。水素検出のために堆積した1nmパラジウム膜を有する4mm×3mmサイズのグラフェン膜上にガスセンサを作製した。グラフェン-系ガスセンサを試験するために,0.0025~1%(25~10000ppm)の濃度を有する空気中の水素を用いた。パラジウム-修飾グラフェン膜に基づくガスセンサは,高感度,高速応答と回復を示し,複数回の利用が可能であった。水素検出の機構についても考察した。Copyright 2010 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *化学蒸着 ,  *グラファイト ,  *ガスセンサ ,  ウエハ【IC】 ,  パラジウム ,  金属薄膜 ,  Ramanスペクトル
準シソーラス用語： *水素センサ ,  *単層グラフェン

分類 (1件)： 分析機器  (CC02020S)

タイトルに関連する用語 (6件)： 化学蒸着 ,  グラフェン ,  ウエハ ,  規模 ,  水素センサ ,  応用