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J-GLOBAL ID:201002264641823856   整理番号:10A0450670

XPSを用いるポリマ材料の帯電特性を探測するための方法

Methods for probing charging properties of polymeric materials using XPS
著者 (3件):
資料名:
巻: 178-179  ページ: 373-379  発行年: 2010年05月 
JST資料番号: D0266C  ISSN: 0368-2048  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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いろいろな薄いポリスチレン,PS,及びポリ(メチルメタクリレート),PMMA,及びPS+PMMA混合膜を,X線光電子スペクトルを記録する技法を用いて調査した。試料が±10V直流バイアス,及び三つの異なる(矩形波(SQW),正弦(SIN)及び三角(TRG))交流パルスの形に,かけられる間に。全ての膜は,直流バイアス下の対応するC1sピークの位置において観測される,帯電シフトを示す。交流パルスは単一C1sピークを矩形波形の場合に対のピークに変換し,SIN及びTRG形の場合にひどくゆがめ,それらの全三つは強い周波数依存性を示す。これらのポリマ材料の挙動を真似てよりよく理解するために,外部の1MΩの抵抗器と56nFのコンデンサにつないだ清浄なSiウエハから成る,人工誘電体系を創造する。そしてその種々の電圧刺激の形への応答を詳細に調査する。簡単な電気回路モデルもまた,系を並列抵抗器と直列コンデンサから成るとして扱って開発する。モデルの助けを用いて人工系の応答を,実験データとの比較によって判断して成功裡に計算する。一つの高周波数SQW測定を用いて,余分の低エネルギー中性化電子のための,帯電シフトにおけるオフセットを評価する。対応するオフセットシフトを補正した後,三つの異なるPS膜,一つのPMMA及び一つのPS+PMMA混合膜のXPSスペクトルを再調査する。これらの詳細な分析の結果として,PS膜の厚さのそれらの帯電能力との間の明瞭な関係が出現する。混合膜においてPS及びPMMA領域は電気的に分離されて,異なる帯電シフトを示すが,一つの存在は他によって感知される。この故にPS構成部分シフトはPMMA領域の存在のために混合物中でより大きい。それは固有により大きいReffを持ち,逆にPMMA構成部分シフトはPS領域の存在のためにより小さい。Copyright 2010 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.
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分類 (1件):
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誘電体一般 
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