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J-GLOBAL ID：201002264950622857   整理番号：10A0291118

酸化亜鉛膜の構造/光学特性に及ぼすアニーリングの影響

Effect of annealing on structural and optical properties of zinc oxide films

著者 (2件)： ELILARASSI R. (Dep. of Physics, School of Physical, Chemical and Applied Sciences, Pondicherry Univ., Puducherry 605014, IND) ,  CHANDRASEKARAN G. (Dep. of Physics, School of Physical, Chemical and Applied Sciences, Pondicherry Univ., Puducherry 605014, IND)
資料名： Materials Chemistry and Physics  (Materials Chemistry and Physics)
巻： 121  号： 1-2  ページ： 378-384  発行年： 2010年05月15日 
JST資料番号： E0934A  ISSN： 0254-0584  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 改良型液体流沈着法(LF法)を用い,ナノ結晶ZnO薄膜を調製した。ZnO膜の構造/光学特性に及ぼす温度範囲350~550°Cでのアニーリングの影響を研究した。X線回折(XRD),走査電子顕微鏡(SEM),X線利用エネルギー分散分析(EDAX),UV-vis-NIR,光ルミネセンス分光法を利用し,膜の構造,表面形態,化学組成,光学特性を決定した。X線回折測定では,アニーリングZnO膜は六方晶ウルツ鉱型構造の(001),(002),(101)配向結晶を含む多結晶で,また(002)XRDピークの半値全幅(FWHM)は,350°C以上でのアニーリング温度上昇につれ,減ることを認めた。550°Cでアニーリングした膜はc軸配向六方晶ウルツ鉱型ZnOナノ粒子を含む。膜の粒子サイズに加え結晶度は,事後アニーリングで増加すると分った。膜のSEM写真では,六方晶形状ナノ粒子を明らかにし,またEDAX測定では,アニーリング処理後の不純物除去を確めた。ZnO膜の光バンドギャップは,350°Cでアニーリングすると,最初に青方偏移(3.39~3.41eV)し,またアニーリング温度350~550°C以上では赤方偏移(3.41~3.32eV)が認められた。膜の室温光ルミネセンス(PL)測定では,UV発光と欠陥関連の深い準位の発光(可視領域の青,緑,黄発光を含む)を示した。これらの発光の可能な機構を詳細に研究した。Copyright 2010 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *酸化亜鉛 ,  *薄膜 ,  *構造特性 ,  *光学的性質 ,  *アニーリング【現象】 ,  ナノ結晶 ,  X線回折 ,  走査電子顕微鏡 ,  エネルギー分散X線分光分析 ,  紫外可視吸収スペクトル ,  近赤外スペクトル ,  光ルミネセンス ,  表面構造 ,  化学組成 ,  六方晶系 ,  ウルツ鉱型結晶 ,  多結晶 ,  FWHM ,  温度依存性 ,  結晶度 ,  不純物 ,  除去 ,  フォトニックバンドギャップ ,  青方偏移 ,  赤方偏移 ,  発光
準シソーラス用語： 表面形態 ,  半値全幅 ,  光バンドギャップ

分類 (4件)： 塩基,金属酸化物  (CD01030Z) ,  酸化物薄膜  (BK14050P) ,  金属酸化物及び金属カルコゲン化物の結晶構造  (BK07020Y) ,  半導体のルミネセンス  (BM08092S)

タイトルに関連する用語 (3件)： 酸化亜鉛 ,  光学特性 ,  アニーリング