文献

J-GLOBAL ID：201002265553718437   整理番号：10A0528938

垂直と側面方向にナノメータの解像力を用いるDLC層の摩耗の研究

Untersuchung des Verschleisses von DLC Schichten mit Nanometer-Aufloesung in normaler und lateraler Richtung

著者 (1件)： CHUDOBA T.
資料名： Tribologie und Schmierungstechnik  (Tribologie und Schmierungstechnik)
巻： 57  号： 2  ページ： 17-24  発行年： 2010年03月 
JST資料番号： H0182A  ISSN： 0724-3472  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： ドイツ語 (DE)

抄録/ポイント： ASMEC社(ドイツ)が開発した<1nmの解像力を有する垂直と側面方向の摩耗量と荷重力の関係の測定装置を用いて,DLC層の摩耗量を測定した。層厚み3~5μm,硬度12.2~50.0GPaの5つのDLC層試験片を用いた。12μmと140μm直径の2つのダイアモンド押込器と200μm直径の硬質金属球を適用し,振動長さ89μmで測定した。その結果,次のことが分かった。1)接触面に比べて滑り表面において摩耗速度は平面圧力に比例する,2)滑り動きあたりの摩耗深さが0.15nmより小さい場合には摩耗は大きな粒子のはく離なしの連続プロセスとなる,3)含水無しのDLC層より含水DLC層の場合には摩耗はより小さな平面圧力で発生する。

シソーラス用語： 分解能 ,  *DLC膜 ,  *摩耗 ,  重量 ,  押込硬さ ,  摩耗速度
準シソーラス用語： 摩耗量

分類 (2件)： 炭素とその化合物  (YB02060D) ,  固体の機械的性質一般  (BL01021C)

タイトルに関連する用語 (6件)： 垂直 ,  ナノメータ ,  解像力 ,  DLC ,  摩耗 ,  研究