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J-GLOBAL ID：201002266296135260   整理番号：10A0931962

ナノ力学特性の計測における動的畳み込みの影響に対する補償のためのモデルベ-ス手法

Model-based Approach to Compensate for the Dynamics Convolution Effect in Nanomechanical Property Measurement

著者 (2件)： XU Zhonghua (Iowa State Univ., IA, USA) ,  ZOU Qingze (Iowa State Univ., IA, USA)
資料名： Proceedings of the American Control Conference  (Proceedings of the American Control Conference)
巻： 2010 Vol.8  ページ： 5763-5768  発行年： 2010年 
JST資料番号： B0982A  ISSN： 0743-1619  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本論文はナノ力学特性の計測に関し,動的畳み込みの影響を除去するモデルベ-ス手法の開発に関する内容である。軟質試料と硬質基準に対するカンチレバーのたわみダイナミクスを計測し,計測に畳み込まれた装置のダイナミクスの部分を明らかにするための比較を行った。軟質材料の力学的挙動は,Prony級数モデルで記述できる過減衰としての特性を明らかにした。従って,畳み込みダイナミクスの影響は材料の挙動とは別個のものであり,数値適合によって除去できるものである。SPMを使ってポリジメチルシロキサン(PDMS)試料の広帯域粘弾性計測で得たデータに本手法を適用して実証した。実験結果から本手法を用いることによって,動的畳み込みの影響が効果的に補償できることを明らかにした。

シソーラス用語： 微視力学 ,  *畳込み ,  データベース ,  たわみ ,  動力学 ,  走査型プローブ顕微鏡 ,  粘弾性
準シソーラス用語： *SPM【顕微鏡】 ,  ダイナミックス ,  *ナノ力学 ,  *モデルベース

分類 (1件)： 顕微鏡法  (BK01040E)

タイトルに関連する用語 (5件)： 力学特性 ,  計測 ,  畳み込み ,  補償 ,  手法