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J-GLOBAL ID：201002266524138584   整理番号：10A0626622

中赤外応用のための多孔質珪素に基づく拡張帯域幅ルゲートフィルタ

Porous silicon based extended-bandwidth rugate filters for mid-infrared application

著者 (5件)： ISHIKURA Nobuyuki (Dep. of Electrical and Electronic Engineering, Graduate School of Engineering, Kobe Univ., Rokkodai, Nada, Kobe ...) ,  FUJII Minoru (Dep. of Electrical and Electronic Engineering, Graduate School of Engineering, Kobe Univ., Rokkodai, Nada, Kobe ...) ,  NISHIDA Kohei (Dep. of Electrical and Electronic Engineering, Graduate School of Engineering, Kobe Univ., Rokkodai, Nada, Kobe ...) ,  HAYASHI Shinji (Dep. of Electrical and Electronic Engineering, Graduate School of Engineering, Kobe Univ., Rokkodai, Nada, Kobe ...) ,  DIENER Joachim (Physik-Department E16, Technische Universitaet Muenchen, D-85747 Garching, DEU)
資料名： Infrared Physics & Technology  (Infrared Physics & Technology)
巻： 53  号： 4  ページ： 292-294  発行年： 2010年07月 
JST資料番号： H0184A  ISSN： 1350-4495  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 中赤外スペクトル領域で動作する多孔質珪素に基づくルゲートフィルタを,塊状珪素ウエハを電気化学エッチングして作製した。ルゲートフィルタは5μmで高反射率ストップバンドを持ち,高次高調波が無く,サイドローブが非常に小さい。また,五ルゲート構造を組合せて,中赤外領域に遮断波長を持つ広帯域高域フィルタを実証した。Copyright 2010 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *フィルタ ,  赤外線 ,  *赤外スペクトル ,  エッチング ,  *高域フィルタ ,  ウエハ【IC】 ,  屈折率
準シソーラス用語： *ルゲートフィルタ ,  中赤外線 ,  *中赤外スペクトル ,  電気化学エッチング ,  ストップバンド ,  ケイ素ウエハ

分類 (1件)： フィルタ一般  (NC04021I)

タイトルに関連する用語 (5件)： 応用 ,  多孔質珪素 ,  拡張 ,  帯域幅 ,  ルゲートフィルタ