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J-GLOBAL ID：201002267677571992   整理番号：10A0460428

フラーレン合成のための誘導プラズマプロセスのモデリング プラズマ気体組成及び動作圧力の効果

Modeling of Induction Plasma Process for Fullerene Synthesis: Effect of Plasma Gas Composition and Operating Pressure

著者 (4件)： KIM K.S. (Univ. Sherbrooke, Sherbrooke, CAN) ,  MORADIAN A. (Univ. Toronto, Toronto, CAN) ,  MOSTAGHIMI J. (Univ. Toronto, Toronto, CAN) ,  SOUCY Gervais (Univ. Sherbrooke, Sherbrooke, CAN)
資料名： Plasma Chemistry and Plasma Processing  (Plasma Chemistry and Plasma Processing)
巻： 30  号： 1  ページ： 91-110  発行年： 2010年02月 
JST資料番号： H0836A  ISSN： 0272-4324  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： フラーレン形成にプラズマ気体組成及び動作圧力の効果を明らかにするためRF誘導プラズマトーチ及び反応器の2D軸対称数値モデルの結果を述べた。これらのパラメータへの炭素含有材料の蒸発率の依存性を解析し,フラーレン及びその前駆体の形成にそれらが及ぼす効果を,反応器内の温度,速度,種濃度場の分布を研究し調べた。粒子蒸発,フラーレン前駆体の形成,フラーレン成長及びアニーリングの観点から,ArプラズマよりAr-Heプラズマがより有効であることをシミュレーションの結果が示唆した。20kPaでは,反応器壁へ向けて炭素蒸気が径方向拡散を大きくするためフラーレンの収率が減少した。

シソーラス用語： 誘導結合プラズマ ,  *プラズマ処理 ,  アルゴン ,  ヘリウム ,  混合気体 ,  *フラーレン ,  *プラズマ合成 ,  炭素材 ,  プラズマトーチ ,  圧力効果 ,  数学モデル ,  前駆体 ,  温度場 ,  プラズマ拡散 ,  炭素
準シソーラス用語： プラズマ反応器 ,  気体組成 ,  数値シミュレーション ,  数値モデル ,  速度場

分類 (2件)： プラズマ応用  (BJ02110K) ,  炭素とその化合物  (YB02060D)

タイトルに関連する用語 (7件)： フラーレン ,  誘導プラズマ ,  プロセス ,  モデリング ,  プラズマ ,  気体組成 ,  動作圧