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J-GLOBAL ID：201002267754500874   整理番号：10A1534698

近赤外ダイオードレーザ吸収分光計によるスラブ型RF放電励起CO₂レーザのレーザ粒子プラズマ媒体の温度解析

Temperature Analysis of Laser Gain Plasma Medium in a Slab-Type RF Discharge Excited CO₂ Laser Using Near Infrared Diode-Laser Absorption Spectroscopy

著者 (5件)： YASUDA Takashi (Tokai Univ., Kanagawa, JPN) ,  NOZUE Hirokazu (Tokai Univ., Kanagawa, JPN) ,  FUJISHIRO Takehiko (Tokai Univ., Kanagawa, JPN) ,  TEI Kazuyoku (Tokai Univ., Kanagawa, JPN) ,  YAMAGUCHI Shigeru (Tokai Univ., Kanagawa, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics  (Japanese Journal of Applied Physics)
巻： 49  号： 11  ページ： 116101.1-116101.5  発行年： 2010年11月25日 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  CODEN： JJAPB6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： スラブ型40MHz RF放電励起CO₂レーザのプラズマ活性媒体の解析に新しい光学温度測定法が使用された。測定法は1.6μm分布帰還(DFB)半導体による近赤外吸収分光計に基づいている。450から650Kまでのガス温度が放電電極距離が5.0から7.5mm,ガス圧が1から6kPaで測定された。この方法はCO₂レーザ活性媒体のリアルタイム診断用実用センサとなるだろう。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *近赤外線 ,  半導体レーザ ,  RF放電 ,  *炭酸ガスレーザ ,  *光吸収 ,  *レーザプラズマ ,  解析 ,  *プラズマ診断
準シソーラス用語： 赤外吸収 ,  温度解析

分類 (1件)： プラズマ診断  (BJ02090L)

引用文献 (30件)：

• D. He, C. J. Baker, and D. R. Hall: J. Appl. Phys.55(1984)4120.
• K. M. Abramski, A. D. Colley, H. J. Baker, and D. R. Hall: Appl. Phys. Lett.54(1989)1833.
• Peter P. Vitruk, H. J. Baker, and D. R. Hall: IEEE J. Quantum Electron.30(1994)1623.
• A. Lapucci, S. Mascalchi, and F. Rossetti: Opt. Laser Technol.28(1996)187.
• A. Lapucci, S. Mascalchi, and R. Ringressi: IEEE J. Quantum Electron.34(1998)616.

タイトルに関連する用語 (10件)： 近赤外 ,  ダイオードレーザ ,  スラブ ,  RF放電 ,  励起 ,  CO2レーザ ,  レーザ ,  プラズマ ,  媒体 ,  温度解析