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J-GLOBAL ID:201002268056488133   整理番号:10A1021728

チタン酸ストロンチウム及びチタン酸バリウムバッファー層を持つ相変化メモリ素子の改善された性能

Improved Performance of Phase Change Memory Cell with Strontium Titanate and Barium Titanate Buffer Layer
著者 (5件):
資料名:
巻: 49  号: 9,Issue 1  ページ: 094202.1-094202.5  発行年: 2010年09月25日 
JST資料番号: G0520B  ISSN: 0021-4922  CODEN: JJAPB6  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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SrTiO3(STO)またはBaTiO3(BTO)バッファー層をもつ,T型相変化メモリ(PCM)素子が作成され,特性が評価された。通常のT型PCM素子と比較して,BTO及びSTOをバッファー層として用いて,50nsのパルス幅で,リセット電圧はそれぞれ28及び38%減少した。熱抵抗計算の結果によれば,PCM素子の全体の熱抵抗は,BTO(STO)層を挿入することによって著しく増加する,そのことは効率的に散逸力を減少し,結果としてリセット電圧を減少させた。PCM素子の抵抗-電圧特性と併せて,BTO及びSTO薄膜の電流-電圧特性はBTO薄膜がSTO薄膜よりもバッファー層としてより適当であることを示している。リセット過程に対する理論的な熱シミュレーショが,PCM素子の性能改善に対するバッファー層の効果を理解するために行われた。(翻訳著者抄録)
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