窒化タンタル(Ta3N5)の赤色色調の改善に及ぼす副産物(NH4Cl)の影響

文献

J-GLOBAL ID：201002268087318260 整理番号：10A1044479

窒化タンタル(Ta₃N₅)の赤色色調の改善に及ぼす副産物(NH₄Cl)の影響

Effect of By-product (NH₄Cl) on the Improvement of the Red Color Tone of Tantalum Nitride (Ta₃N₅)

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巻： 46 号： 6 ページ： 583-586 発行年： 2009年11月30日
JST資料番号： T0799A ISSN： 1229-7801 資料種別：逐次刊行物 (A)
発行国：韓国 (KOR) 言語：韓国語 (KO)

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