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J-GLOBAL ID：201002268274829490   整理番号：10A0118000

ガスセンサーに利用する酸化金属フィルムの電気泳動析出: 陽極酸化アルミニウム(AAO)/Al混合物の構造が果たす役割

Electrophoretic deposition of metal oxide films aimed for gas sensors application: The role of anodic aluminum oxide (AAO)/Al composite structure

著者 (10件)： HAN Ning (State Key Lab. of Multi-phase Complex Systems, Inst. of Process Engineering, Chinese Acad. of Sciences, Haidian ...) ,  HAN Ning (Graduate Univ. of Chinese Acad. of Sciences, Beijing 100049, CHN) ,  DENG Pingye (Beijing Centre for Physical and Chemical Analysis, Beijing 100089, CHN) ,  CHEN Jiangchao (State Key Lab. of Multi-phase Complex Systems, Inst. of Process Engineering, Chinese Acad. of Sciences, Haidian ...) ,  CHEN Jiangchao (Graduate Univ. of Chinese Acad. of Sciences, Beijing 100049, CHN) ,  CHAI Linyu (State Key Lab. of Multi-phase Complex Systems, Inst. of Process Engineering, Chinese Acad. of Sciences, Haidian ...) ,  CHAI Linyu (Graduate Univ. of Chinese Acad. of Sciences, Beijing 100049, CHN) ,  GAO Hongshuai (State Key Lab. of Multi-phase Complex Systems, Inst. of Process Engineering, Chinese Acad. of Sciences, Haidian ...) ,  GAO Hongshuai (Graduate Univ. of Chinese Acad. of Sciences, Beijing 100049, CHN) ,  CHEN Yunfa (State Key Lab. of Multi-phase Complex Systems, Inst. of Process Engineering, Chinese Acad. of Sciences, Haidian ...)
資料名： Sensors and Actuators. B. Chemical  (Sensors and Actuators. B. Chemical)
巻： 144  号： 1  ページ： 267-273  発行年： 2010年01月29日 
JST資料番号： T0967A  ISSN： 0925-4005  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 陽極酸化アルミニウム(AAO)/Al混合物の構造を調製し,電気泳動析出(EPD)過程によって酸化金属のガス検知フィルムを作成した。GaをドープしたZnO(GZO)およびH₂中で後処理したGZO(GZO-H₂)をそれぞれ高い抵抗と低い抵抗をもつ酸化金属のモデルとして用いた。この検知フィルムを使用して測定した結果,EPD過程においてAl(陽極酸化した後の残りのAl)はAAOの小孔を貫通している電場をもつ電極として作用していることがわかった。そしてアルコールのような分散剤は水溶液中に分散されたH₂がAAO/Al電極上に発生するように作用して,H₂ガスはAAO層とGZO(あるいはGZO-H₂)フィルムの両方を破壊した。しかし,ガス検知過程においてAAO層はGZO(あるいはGZO-H₂)フィルムとAl基板の間の挿入層として作用しているので,AAO層の厚さはGZOフィルムよりはるかに大きな抵抗にするために80μm以上の厚さにしなければならない。そしてGZOフィルムからAl基板への電流のもれを防ぐ必要がある。抵抗が小さいGZO-H₂フィルムを用いるときは10μmの厚さになった。AAO/Al混合物構造は他に何も処理しなくてもガス検知フィルムを作成しやすいEPD過程になっているので,酸化金属半導体のガスセンサーの作成も期待される。Copyright 2010 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *酸化アルミニウム ,  アノード酸化 ,  酸化膜 ,  電気泳動 ,  電着 ,  *酸化亜鉛 ,  ドーピング ,  *ガリウム ,  水素 ,  *ガスセンサ ,  *電気抵抗率 ,  膜厚 ,  分散剤 ,  水 ,  水素発生反応 ,  漏れ電流 ,  脂肪族アルデヒド ,  脂肪族アルコール

分類 (3件)： 分析機器  (CC02020S) ,  半導体結晶の電気伝導  (BM03043X) ,  電極過程  (CB07040U)

物質索引 (7件)： ホルムアルデヒド ,  エタノール ,  1-プロパノール ,  n-ブタノール ,  イソブタノール ,  n-ペンタノール ,  イソペンタノール

タイトルに関連する用語 (9件)： ガスセンサー ,  酸化金属 ,  フィルム ,  電気泳動析出 ,  陽極酸化アルミニウム ,  AAO ,  Al ,  混合物 ,  役割