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J-GLOBAL ID:201002268424376618   整理番号:10A0270795

アーク蒸着NbAlN硬コーティングの構造,機械的性質及び酸化挙動

Structure, mechanical properties and oxidation behaviour of arc-evaporated NbAlN hard coatings
著者 (4件):
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巻: 204  号: 15  ページ: 2447-2453  発行年: 2010年04月25日 
JST資料番号: D0205C  ISSN: 0257-8972  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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Al濃度の結晶構造,機械的性質及び耐酸化性への影響を調べるために,陰極アーク蒸着によってNb1-xAlxN硬コーティングを合成した。X線回折による構造研究では,蒸着パラメータに依存してx=0.45~0.56でδ-NbNの面心立方構造からAlNのウルツ鉱型構造へ遷移することが分った。ナノインデンテーション及び2軸応力温度測定によって得た硬さや残留応力のような機械的性質の最大値は,それぞれ立方構造について得られ,一般にAl量の増加とともに減少する。一方,高Al量は大気中での焼鈍実験で明らかなように耐酸化性に関し有益である。酸化開始温度は,結晶構造の変化にかかわらずNb0.73Al0.27Nでは600から700°Cへ,Nb0.29Al0.71Nでは800°C以上へ上昇する。Copyright 2010 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.
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分類 (2件):
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セラミック・磁器の性質  ,  金属材料へのセラミック被覆 
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