文献

J-GLOBAL ID：201002268428167282   整理番号：10A0731733

偏光特性分離法の実験結果

Experimental Result of Polarization Characteristics Separation Method

著者 (6件)： FUJII Toru (Nikon Corp., Saitama, JPN) ,  SUZUKI Kosuke (Nikon Corp., Saitama, JPN) ,  KOGO Jun (Nikon Corp., Saitama, JPN) ,  TOYAMA Kiyoshi (Nikon Corp., Saitama, JPN) ,  SASADA Kunihisa (Nikon Corp., Saitama, JPN) ,  SAWADA Masayasu (Nikon Systems Inc., Kanagawa, JPN)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 7640  号： Pt.1  ページ： 76400R.1-76400R.8  発行年： 2010年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： リソグラフィーレンズの分解能はRayleighの方程式で表される。この方程式によると分解能向上のための主要因子は工程因子,露光波長,開口数である。高開口数リソグラフィーは垂直効果に敏感で,効果的画像形成シミュレーションには高確度のベクトル的特徴が必要である。光路測定における直列配列した測定光学系の影響を分離することにより,単一の光学系の真の偏光特性を求めた。原理実証のためのテストベンチ上の二種類の複屈折光学系の分離した偏光特性の確度はOPEシミュレーション誤差の0.01nmよりも良かった。

シソーラス用語： *偏光性 ,  *フォトリソグラフィー ,  開口数 ,  *光学系
準シソーラス用語： 高開口数 ,  光路 ,  *液浸リソグラフィー

分類 (1件)： 偏光測定と偏光計  (BD07050K)

タイトルに関連する用語 (2件)： 偏光特性 ,  実験結果