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J-GLOBAL ID：201002268476810120   整理番号：10A0854703

ドライエッチBCBを用いた集積両面神経センサー

Integrated Double-Sided Neural Sensor With Dry-Etch BCB

著者 (3件)： KIM Bruce (Univ. Alabama, AL) ,  ZHU Haixin (Arizona State Univ., AZ) ,  HE Jiping (Arizona State Univ., AZ)
資料名： Transactions of the ASME. Journal of Nanotechnology in Engineering and Medicine  (Transactions of the ASME. Journal of Nanotechnology in Engineering and Medicine)
巻： 1  号： 2  ページ： 021010.1-021010.4  発行年： 2010年05月 
JST資料番号： W2293A  ISSN： 1949-2944  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 脳の多数のニューロンから同時記録する神経インターフェース法がある。今回,表面微細加工法を用い,両面にベンゾシクロブテン(BCB)を接着させた神経センサーの製作と試験結果を報告した。装置に3つの挿入チップを組み込んだ。各記録部位は20×20μm²とし,これは良好な神経シグナルを得るインピーダンスを示した。各チップは記録部位が皮質第V層に行くように長さ2mm,幅0.15mmとした。このデザインは,片面電極構造と比較し記録部位の総チャンネル数を2倍とした。装置は両側の皮質内記録部位と前部の硬膜外記録部位を持った。装置の製作は,BCBプロセッシング,Au/Cr金属沈着とリフトオフ/エッチング処理の3段階で行った。このプローブ構造は,高いチャンネル密度にも拘らず片面記録部位プローブと類似した記録を示した。この神経センサーは神経記録のパフォーマンスと効率を改善し得ると示唆した。

シソーラス用語： *ドライエッチング ,  *センサ ,  微細加工 ,  *超小形回路 ,  インピーダンス ,  大脳皮質 ,  メタライゼーション ,  プローブ ,  *神経学的検査
準シソーラス用語： センサチップ ,  リフトオフ加工 ,  電極構造 ,  *神経記録法

分類 (2件)： 生体計測  (EL03020C) ,  計測機器一般  (AD02000X)

物質索引 (1件)： ベンゾシクロブテン

タイトルに関連する用語 (5件)： エッチ ,  集積 ,  両面 ,  神経 ,  センサー